[发明专利]制程配方监控方法及制程配方监控系统

摘要

一种制程配方监控方法，包括以下步骤：接收使用者设备的连线请求；接收使用者设备的回溯命令，包括以下步骤：判断使用者设备是否能执行回溯模式；进入锁定状态，以限制仅供使用者设备控制资料库与配方描述资料库；依据目标主版本资料的目标次配方项目与目标次配方数值，复原目前配方档中目前配方档中相对应的次配方项目与次配方数值；记录经回溯后的目前配方档中主版本版次资料与各次配方版本资料；存取经回溯后的目前配方档至资料库。此外，一种制程配方监控系统亦被提出。

主权项

1.一种制程配方监控方法，其特征在于，其包括以下步骤：接收一使用者设备的连线请求；以及接收该使用者设备的一回溯命令，包括以下步骤：判断是否能执行一回溯模式；进入一锁定状态，以限制仅供该使用者设备控制一资料库与一配方描述资料库，其中该资料库中的一目前配方档包含一主版本版次资料与数个次配方资料，各该次配方资料包含一次配方项目、一次配方版本资料与一次配方数值，该配方描述资料库包含一配方规则描述档，依据该配方规则描述档执行该目前配方档；依据一目标主版本资料的数个目标次配方项目与数个目标次配方数值，复原该目前配方档中相对应的该次配方项目与该次配方数值；记录经回溯后的该目前配方档中该主版本版次资料与各该次配方版本资料；及存取经回溯后的该目前配方档。