[发明专利]用于原位制备显微镜样本的方法有效
| 申请号： | 201810762251.1 | 申请日： | 2018-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN109256312B | 公开（公告）日： | 2022-10-04 |
| 发明（设计）人： | A.施蒙兹;H.多默 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;G01N1/28 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 侯宇;孟婧 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及原位制备用于电子显微镜研究的显微镜样本的方法。所述方法借助粒子束设备实施，所述粒子束设备包括用于产生聚焦的带电粒子束的粒子束柱；用于承接样本块的样本支座和用于探测粒子束与样本材料之间相互作用的相互作用产物的探测器。所述方法包括步骤：a)提供具有裸露结构的样本块，所述裸露结构包括感兴趣的样本区域(ROI)；b)通过粒子束的作用在裸露结构中产生弯折棱边，从而使裸露结构的至少一部分朝向入射的粒子束变形；c)移动承接样本块的样本支座，使得包括在变形结构中的样本区域能够在粒子束设备中被观察和/或被加工。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 原位 制备 显微镜 样本 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于原位制备显微镜样本的方法，所述方法借助粒子束设备实施，所述粒子束设备包括：‑用于产生聚焦的带电粒子束的粒子束柱；‑用于承接样本块的样本支座；‑用于探测粒子束与样本材料之间相互作用的相互作用产物的探测器，其中，所述方法包括步骤：a)提供样本块，所述样本块具有裸露的并且包括感兴趣的样本区域(ROI)的结构；b)通过粒子束的作用在裸露结构中产生弯折棱边，从而使裸露结构的至少一部分朝向入射的粒子束变型；c)移动承接样本块的样本支座，使得包括在变型结构中的样本区域能够在粒子束设备中被观察和/或被加工。
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