[发明专利]超声波换能器阵列及其制作和封装方法有效

专利信息
申请号: 201810767230.9 申请日: 2018-07-12
公开(公告)号: CN109192749B 公开(公告)日: 2021-05-04
发明(设计)人: 鲁瑶;万里兮 申请(专利权)人: 中国科学院微电子研究所
主分类号: H01L27/20 分类号: H01L27/20;H01L41/25;H01L41/29;H01L41/332;A61B8/00
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 任岩
地址: 100029 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供一种超声波换能器阵列,其包括用于发射和接收超声波信号的接收发射层、设置在接收发射层的第一侧上的正极层以及设置在接收发射层的与第一侧相对的第二侧上的负极层。接收发射层和正极层被分割成多个超声波换能器阵元,使得多个超声波换能器阵元中的每一个均具有自身的正极,并且多个超声波换能器阵元具有公共的负极。本发明还提供制作以及封装超声波换能器阵列的方法。本发明提供的超声波换能器阵列可以在同一时间内检测到更大的组织面积,获得更完整的病灶信息,缩减诊断时间,并可以进行三维图像成像,从而获得更加直观的图像信息。
搜索关键词: 超声波 换能器 阵列 及其 制作 封装 方法
【主权项】:
1.一种超声波换能器阵列,包括:接收发射层,所述接收发射层用于发射和接收超声波信号;正极层,所述正极层设置在所述接收发射层的第一侧上;以及负极层,所述负极层设置在所述接收发射层的与所述第一侧相对的第二侧上;其特征在于,所述接收发射层和所述正极层被分割成多个超声波换能器阵元,使得所述多个超声波换能器阵元中的每一个均具有自身的正极,并且所述多个超声波换能器阵元具有公共的负极。
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