[发明专利]带电粒子束装置、带电粒子束支配装置和操作带电粒子束装置的方法有效
| 申请号： | 201810769384.1 | 申请日： | 2018-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN109256313B | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 迪特尔·温克勒;盖伊·伊坦;玆维·尼珥 | 申请（专利权）人： | ICT集成电路测试股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/26 | 分类号： | H01J37/26;H01J37/28;H01J37/147 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;吴启超 |
| 地址： | 德国巴*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述一种带电粒子束装置(100)，所述带电粒子束装置包括：束源(110)，被配置成产生沿着光轴(A)传播的带电粒子束(105)；具有第一数量的孔径(125)的孔径装置(120)，被配置成从带电粒子束(105)形成第一数量的小束(135)，其中第一数量为5或更多，其中孔径(125)围绕光轴(A)布置在环线(126)上，使得投射于环线(126)的切线(136)上的孔径(125)的垂线(128)均匀地间隔开。带电粒子束装置(100)进一步包括静电多极装置，所述静电多极装置被配置成单独地支配小束。另外，描述带电粒子束支配装置和操作带电粒子束装置的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 装置 支配 操作 方法 | ||
【主权项】：
1.一种带电粒子束装置(100)，包括：束源(110)，被配置成产生沿着光轴(A)传播的带电粒子束(105)；具有第一数量的孔径(125)的孔径装置(120、220)，被配置成从所述带电粒子束(105)形成第一数量的小束(135)，其中所述第一数量为5或更多，并且其中所述孔径(125)围绕所述光轴(A)布置在环线(126)上，使得投射于所述环线(126)的切线(136)上的所述孔径(125)的垂线(128)均匀地间隔开；和静电多极装置(150、250)，被配置成单独地支配所述小束(135)。
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