[发明专利]薄膜、薄膜太阳能电池及其制备方法在审
申请号: | 201810769820.5 | 申请日: | 2018-07-13 |
公开(公告)号: | CN110718606A | 公开(公告)日: | 2020-01-21 |
发明(设计)人: | 徐强;白安琪;郭会永 | 申请(专利权)人: | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/0216 |
代理公司: | 11348 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 王伟锋;刘铁生 |
地址: | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明实施例是关于一种薄膜、薄膜太阳能电池及其制备方法,涉及薄膜技术领域,主要解决的技术问题是覆盖膜层阻水性能较差。主要采用的技术方案为:一种薄膜的制备方法包括:采用第一沉积工艺在树脂膜层的表面上形成第一沉积层,使第一沉积层树脂膜层的表面的表孔被封盖;采用第二沉积工艺在所述第一沉积层上形成无机材料的第二沉积层。本发明的实施例中,由于树脂膜层本身的表孔被第一沉积层封盖,使得无机材料的第二沉积层形成的无机薄膜层具备较好的阻水性能,薄膜、薄膜太阳能电池的阻水性能较高。 | ||
搜索关键词: | 沉积层 树脂膜层 阻水性能 薄膜 薄膜太阳能电池 无机材料 封盖 沉积 制备 薄膜技术领域 无机薄膜层 覆盖膜层 | ||
【主权项】:
1.一种薄膜的制备方法,其特征在于,包括:/n采用第一沉积工艺在树脂膜层的表面上形成第一沉积层,使第一沉积层树脂膜层的表面的表孔被封盖;/n采用第二沉积工艺在所述第一沉积层上形成无机材料的第二沉积层。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
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H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的