[发明专利]一种强吸收光热探测器及其制备方法

摘要

本发明涉及探测器技术领域，具体涉及一种强吸收光热探测器及其制备方法，光热探测器由基底层、光热探测结构、第一电极和第二电极构成，光热探测结构覆于基底层之上，第一电极和第二电极分别连接于光热探测器的两侧，光热探测结构包括热敏感线，热敏感线上表面设有多个微孔，热敏感线的表面和微孔的内壁表面均附有一层贵金属颗粒层，用于增大入射光与贵金属颗粒层的作用面积，增加对于入射光的吸收，从而引起更加强烈的表面等离激元共振，形成宽频吸收。微孔是由热敏材料本身制成的，更有利于传递光热探测结构所吸收的热量，有利于提高探测的灵敏度、提高光热探测精度、增加应用范围。

主权项

1.一种强吸收光热探测器，其特征在于：由基底层、光热探测结构、第一电极和第二电极构成；所述光热探测结构覆于基底层之上；所述第一电极和第二电极分别连接于所述光热探测器的两侧；所述光热探测结构包括热敏感线；所述热敏感线上表面设有多个微孔，所述热敏感线的表面和微孔的内壁表面均附有一层贵金属颗粒层。