[发明专利]一种双面PERC太阳能电池结构及其制备工艺

摘要

本发明提出一种新型的双面PERC电池结构及其制备工艺，所述电池的正面与背面钝化层结构对称，极大降低了双面电池的翘曲度，提升组件的机械载荷强度；叠层钝化结构在保证电池抗PID性能的基础上，采用了独特的表面钝化层沉积工艺，最佳化正面和背面光学(减反射效果)和电学(提升氢钝化效果)性能，实现电池正面转换效率、双面率和抗LID效果的改善与提升。本发明所采用的双面PERC电池工艺，正面和背面的SiO2和AlOx层分别通过热氧化和ALD同时形成，正面和背面的SiNx/SiNy/SiOxNy/SiOx叠层分别通过PECVD沉积形成，正面和背面的沉积次序可调整。

主权项

1.一种双面PERC太阳能电池结构，其特征在于，所述电池的正面与背面钝化层结构对称，采用SiO2/AlOx/SiNx/SiNy/SiOxNy/SiOx叠层结构，正面和背面SiO2层通过热氧化或者臭氧氧化同时形成，SiO2层厚度5‑20nm；正面与背面A1Ox层通过原子层沉积同时沉积形成，AlOx层厚度3‑30nm，折射率1.60‑1.65。