[发明专利]一种微蚀减铜添加液及工艺在审
| 申请号： | 201810784521.9 | 申请日： | 2018-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN109097776A | 公开（公告）日： | 2018-12-28 |
| 发明（设计）人： | 赵志斌;欧胜;肖红星;孙宝林;舒良 | 申请（专利权）人： | 东莞市广华化工有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/18 | 分类号： | C23F1/18 |
| 代理公司： | 北京商专永信知识产权代理事务所(普通合伙) 11400 | 代理人： | 高之波;莫莉萍 |
| 地址： | 523000 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微蚀减铜添加液及工艺，该添加液由含量为以下质量百分数的组分组成：无机酸化合物10％‑20％；双氧水稳定剂1％‑5％；减铜加速剂5％‑15％；水余量；所述物质都以纯物质的质量计算。本发明提供一种微蚀减铜添加液，可按生产要求调节蚀刻速率，将基材板的铜厚度蚀刻至所需厚度，蚀刻速率稳定且能很好的清除金属表面的氧化物，槽液中双氧水的稳定性有所提高。而且，本发明产品中不含有双氧水，与传统微蚀液相比，生产和运输过程中的安全性有了很大的提高。 | ||
| 搜索关键词： | 添加液 蚀刻 微蚀 双氧水 双氧水稳定剂 无机酸化合物 质量百分数 金属表面 生产要求 运输过程 质量计算 纯物质 基材板 加速剂 水余量 微蚀液 氧化物 槽液 生产 | ||
【主权项】：
1.一种微蚀减铜添加液，其特征在于，由含量为以下质量百分数的组分组成：无机酸化合物10％‑20％；双氧水稳定剂1％‑5％；减铜加速剂5％‑15％；水余量；所述物质都以纯物质的质量计算。
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