[发明专利]一种绝缘材料管道内壁镀膜装置有效
| 申请号： | 201810788376.1 | 申请日： | 2018-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN108559960B | 公开（公告）日： | 2023-09-22 |
| 发明（设计）人： | 施戈;李长栋;田琳;夏虎;谢实洋 | 申请（专利权）人： | 北京泰科诺科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 王戈 |
| 地址： | 100000 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种绝缘材料管道内壁镀膜装置。所述装置包括：二级溅射电极和旋转设备；二级溅射电极的阴极靶材沿轴向穿设在待镀膜绝缘材料管道内，旋转设备与待镀膜绝缘材料管道的一端固定连接；二级溅射电极与旋转设备均设置在真空设备内，真空设备用于使装置处于真空环境。本发明适用于对小尺寸内径的绝缘材料管道内壁进行镀膜，且镀膜膜层厚度均匀、结合力一致。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 绝缘材料 管道 内壁 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
1.一种绝缘材料管道内壁镀膜装置，其特征在于，包括：二级溅射电极和旋转设备；所述二级溅射电极的阴极靶材沿轴向穿设在待镀膜绝缘材料管道内，所述旋转设备与所述待镀膜绝缘材料管道的一端固定连接；所述二级溅射电极与所述旋转设备均设置在真空设备内，所述真空设备用于使所述装置处于真空环境。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京泰科诺科技有限公司，未经北京泰科诺科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810788376.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
