[发明专利]双射束带电粒子显微镜中的样品制备和检查

摘要

一种在具有离子射束柱和电子射束柱的双射束带电粒子显微镜中制备样品的方法，包括：‑在样本保持器上提供前体样本；‑使用该离子射束在该样本的所选部分周围切出沟槽；‑将操纵器针附接至该部分，使该部分与该样本的剩余部分分离，以及使用针来执行该部分远离样本的剩余部分的抬出，特别地包括：‑将操纵器针配置成具有多个运动自由度，其至少包括：•关于通过该离子轴和电子轴的交点且垂直于该电子轴的倾斜轴的优心倾斜θ；•关于针的纵轴的旋转；‑在将该部分维持在该针上的同时，使用该离子射束对该部分的至少一个表面进行加工，以便产生该样品；‑在将该部分维持在该针上的同时，针对该旋转的至少两个不同值，利用该电子射束来检查它。

主权项

1.一种在双射束带电粒子显微镜中制备样品的方法，该双射束带电粒子显微镜具有：‑ 离子射束柱，其能够产生沿着离子轴传播的离子射束；‑ 电子射束柱，其能够产生沿着电子轴传播的电子射束，该方法包括以下步骤：‑ 在样本保持器上提供前体样本；‑ 使用所述离子射束在所述样本的所选部分周围切出沟槽；‑ 将操纵器针附接至所述部分，使所述部分与所述样本的剩余部分分离，以及使用针来执行该部分远离样本的剩余部分的抬出，其特征在于：‑ 将操纵器针配置成具有多个运动自由度，其至少包括：• 关于通过所述离子轴和电子轴的交点且垂直于所述电子轴的倾斜轴的优心倾斜θ；• 关于针的纵轴的旋转；‑ 在将所述部分维持在所述针上的同时，使用所述离子射束对所述部分的至少一个表面进行加工，以便产生所述样品；‑ 在将所述部分维持在所述针上的同时，针对所述旋转的至少两个不同值，利用所述电子射束来检查它。