[发明专利]用于半导体器件制造的焊接废气处理装置

摘要

本发明公开一种用于半导体器件制造的焊接废气处理装置，包括电离桶、电离棒、主沉淀瓶和抽气泵，所述电离桶的侧壁上连接有至少一个进气管，所述进气管上设置有温度检测器、手动阀2个均连接到微差压传感器的流量检测仪，所述手动阀位于2个流量检测仪之间，所述电离棒嵌入电离桶的腔体内，所述电离棒外壁四周设置有若干个电离针，所述主沉淀瓶安装于电离桶底部，所述电离桶上部连接到排气管一端，所述排气管另一端与次沉淀瓶相连，所述排气管靠近次沉淀瓶处连接有一出气管，所述出气管与抽气泵相连。本发明将焊接炉产生的高温废气进行有效的电离分解出来，通过电离棒和气套的双重作用能更有效的处理高温废气中的松香成分，减少废气排放造成的环境污染。

主权项

1.一种用于半导体器件制造的用于半导体器件制造的焊接废气处理装置，其特征在于：包括电离桶（1）、电离棒（8）、主沉淀瓶（10）和抽气泵（15），至少一个进气管（2）的一端连接在所述电离桶（1）的侧壁上，此进气管（2）另一端用于连接到焊接炉（18），所述进气管（2）上设置有温度检测器（3）、手动阀（4）和2个均连接到微差压传感器（6）的流量检测仪（5），所述手动阀（4）位于2个流量检测仪（5）之间；所述电离棒（8）嵌入电离桶（1）的腔体内，所述电离棒（8）外壁四周设置有若干个电离针（9），所述主沉淀瓶（10）安装于电离桶（1）底部；所述电离桶（1）上部连接到排气管（11）一端，所述排气管（11）另一端与次沉淀瓶（12）相连，所述排气管（11）靠近次沉淀瓶（12）处连接有一出气管（14），所述出气管（14）与抽气泵（15）相连，所述出气管（14）上设置有流量调节器（17）。