[发明专利]抗反射硬掩膜组合物有效
| 申请号： | 201810796829.5 | 申请日： | 2018-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN110361931B | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 崔相俊 | 申请（专利权）人： | 厦门恒坤新材料科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 乐洪咏;朱黎明 |
| 地址： | 361027 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： |
本发明提供一种抗反射硬掩膜组合物，其包含(a)由下述化学式1表示的芳基咔唑(arylcarbazole)衍生物聚合物或包含它的聚合物混合物(blend)及(b)有机溶剂。[化学式1] |
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| 搜索关键词： | 反射 硬掩膜 组合 | ||
【主权项】：
1.一种抗反射硬掩膜组合物，包含：(a)由下述化学式1表示的芳基咔唑衍生物聚合物或包含它的聚合物混合物；及(b)有机溶剂，[化学式1]![]()
在所述化学式1中，A1和A2分别独立地为C6～C40的芳族芳基(aryl)，A1和A2可以相同或不同，R为叔丁氧基羰基、乙氧基乙基、异丙氧基乙基或四氢吡喃基，X1和X2分别为衍生自可与所述芳基咔唑衍生物和所述A2在酸催化剂条件下一对一聚合的醛或醛的缩醛单体的聚合连接基，m/(m+n)＝0.05～0.8，全部共聚物的重均分子量(Mw)为1,000～30,000。
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