[发明专利]基于衍射光栅的玻璃平板折射率均匀性检测装置及检测方法有效
申请号: | 201810797550.9 | 申请日: | 2018-07-18 |
公开(公告)号: | CN110736721B | 公开(公告)日: | 2022-05-24 |
发明(设计)人: | 段存丽;惠倩楠;赵鹏程;刘王云;郭荣礼;刘丙才;张玉虹;胡小英 | 申请(专利权)人: | 西安工业大学 |
主分类号: | G01N21/41 | 分类号: | G01N21/41 |
代理公司: | 西安新思维专利商标事务所有限公司 61114 | 代理人: | 黄秦芳 |
地址: | 710032 陕*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明涉及基于衍射光栅的玻璃平板折射率均匀性检测装置及检测方法,该装置包括波长可调光源,沿波长可调光源出射光线光轴方向依次设置扩束镜、针孔光阑、准直镜、可调狭缝和反射式平面衍射光栅,反射式平面衍射光栅6的工作面与所述出射光线光轴之间构成20—45°的入射夹角,在反射式平面衍射光栅的下方竖直依次设光学成像镜头和CCD图像采集系统,CCD图像采集系统连接计算机;在反射式平面衍射光栅和光学成像镜头之间设置待测件。本发明的光路系统实现了大厚度、折射率变化大的光学玻璃的空间折射率均匀性分布的非接触式测量。 | ||
搜索关键词: | 基于 衍射 光栅 玻璃 平板 折射率 均匀 检测 装置 方法 | ||
【主权项】:
1.基于衍射光栅的玻璃平板折射率均匀性检测装置,其特征在于,包括波长可调光源(1),沿波长可调光源(1)出射光线光轴方向依次设置扩束镜(2)、针孔光阑(3)、准直镜(4)、可调狭缝(5)和反射式平面衍射光栅(6),反射式平面衍射光栅(6)的工作面与所述出射光线光轴之间构成20—45°的入射夹角,在所述反射式平面衍射光栅(6)的下方竖直依次设光学成像镜头(8)和CCD图像采集系统(9),所述CCD图像采集系统(9)连接计算机(10);在所述反射式平面衍射光栅(6)和光学成像镜头(8)之间设置待测件(7)。/n
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