[发明专利]一种差分圆形栅式电容角位移传感器有效
| 申请号： | 201810798031.4 | 申请日： | 2018-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN108827144B | 公开（公告）日： | 2019-11-01 |
| 发明（设计）人： | 段发阶;黄婷婷;蒋佳佳;傅骁;叶德超 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01B7/30 | 分类号： | G01B7/30 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 刘子文 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种差分圆形栅式电容角位移传感器，该传感器由定极板和动极板组成，其中定极板上N个电极均匀分布在半径为r的圆周上，动极板上两组共2×K个电极交叉分布在半径也为r的圆周上，通过定极板电极和动极板电极构成的两组输出电容之差的过零点实现特定位置角位移的精确检测，同时减小安装倾斜以及电路漂移带来的误差；并通过两组电容相位关系实现正反转辨向；可调整两极板的间距利用边缘效应使得输出电容随角位移变化曲线为正弦波，利用反正弦函数对角位移进行细分。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 定极板 动极板 传感器 两组 电容角位移 输出电容 栅式 漂移 反正弦函数 边缘效应 变化曲线 电极交叉 对角位移 相位关系 电容 过零点 角位移 可调整 两极板 位置角 正反转 正弦波 减小 电路 检测 | ||
【主权项】：
1.一种差分圆形栅式电容角位移传感器，其特征在于，由定极板和动极板组成，所述定极板中半径为r的圆周上等间距的排列分布有N个电极；所述动极板中半径为r的圆周上交叉分布有两组电极，每组电极包括K个电极；定极板中的所有电极均连接至第一输出端子G；所述动极板中其中一组电极连接至第二输出端子A，另一组电极连接至第三输出端子B，第二输出端子A和第一输出端子G构成传感电容CAG的两个输出端子，第三输出端子B和第一输出端子G构成传感电容CBG的两个输出端子，N、K均为大于1的正整数。
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