[发明专利]一种带磁铁环的直冷阴极衬套的焊接工艺有效
| 申请号： | 201810799732.X | 申请日： | 2018-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN109175666B | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 游利 | 申请（专利权）人： | 靖江先锋半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K20/12 | 分类号： | B23K20/12;B23P15/00;H01J37/32 |
| 代理公司： | 靖江市靖泰专利事务所(普通合伙) 32219 | 代理人： | 陆平 |
| 地址： | 214500 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种带磁铁环的直冷阴极衬套的焊接工艺，包括以下步骤：高纯度铝合金材质衬套主体和盖板的制造——永久磁铁圈的制造与安装——衬套主体与盖板之间的焊接；盖板套紧在衬套主体的端头上，衬套主体与盖板组装后焊缝齐平，并进行两次摩擦焊接,代替原先的电子束焊接,有效的提高的产品的焊接合格率,大大降低了成本,同时摩擦焊工艺焊接的直冷阴极衬套焊接效果好,使用寿命长,有效防止等离子体对磁铁环的侵蚀,减少等离子体对反应腔室的腐蚀,保证了半导体芯片生产的长期稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁铁 阴极 衬套 焊接 工艺 | ||
【主权项】：
1.一种带磁铁环的直冷阴极衬套的焊接工艺，其特征在于：包括以下步骤：高纯度铝合金材质衬套主体（1）和盖板（2）的制造——永久磁铁圈（3）的制造与安装——衬套主体（1）与盖板（2）之间的焊接。
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