[发明专利]缺陷检查系统及缺陷检查方法有效
申请号: | 201810800087.9 | 申请日: | 2018-07-19 |
公开(公告)号: | CN109297973B | 公开(公告)日: | 2022-12-23 |
发明(设计)人: | 尾崎麻耶 | 申请(专利权)人: | 住友化学株式会社 |
主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88;G01N21/01 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 刘文海 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供缺陷检查系统及缺陷检查方法。在缺陷检查系统(1)中,由摄像部(3)拍摄在输送方向(X)上亮度变化的二维图像,由列分割处理部(9)处理成列分割图像的图像数据,所述列分割图像是将二维图像分割为沿着输送方向(X)排列的列、并使二维图像的相同位置的列依照时间序列的顺序排列而成的列分割图像,即便是相同的检查对象(T)的拍摄图像,列分割图像等也具有不同的亮度。由缺陷类别识别部(10)基于对与亮度及呈现方式不同的列分割图像所包含的缺陷类别的识别相关的机械学习的结果进行积累得到的数据,来识别检查对象(T)的缺陷的类别,缺陷的识别精度提高。 | ||
搜索关键词: | 缺陷 检查 系统 方法 | ||
【主权项】:
1.一种缺陷检查系统,其特征在于,具备:光源,其向检查对象照射光;摄像部,其按离散时间拍摄二维图像,该二维图像基于从所述光源向所述检查对象照射并透过所述检查对象或在所述检查对象上反射后的所述光而形成;输送部,其将所述检查对象相对于所述光源及所述摄像部沿着输送方向相对地输送;以及图像处理部,其对由所述摄像部拍摄出的所述二维图像的图像数据进行处理,所述摄像部拍摄出在所述二维图像的与所述输送方向一致的方向上亮度发生变化的所述二维图像,所述图像处理部具有:列分割处理部,其将所述二维图像处理成列分割图像的所述图像数据,所述列分割图像通过将所述二维图像分割为沿着所述输送方向排列的多个列、并使由所述摄像部按所述离散时间拍摄出的所述二维图像各自中的相同位置的所述列依照时间序列的顺序排列而成;以及缺陷类别识别部,其基于对与两个以上的所述列分割图像所包含的缺陷的类别的识别相关的机械学习的结果进行积累得到的数据,来识别所述检查对象的缺陷的类别,其中,两个以上的所述列分割图像是通过所述列分割处理部处理而得到的图像。
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