[发明专利]一种应用于干法去胶工艺的匹配验证方法有效
| 申请号： | 201810800573.0 | 申请日： | 2018-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN108984913B | 公开（公告）日： | 2023-04-18 |
| 发明（设计）人： | 荆泉;龚华 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G06F30/20 | 分类号： | G06F30/20;G06F18/22;G06F119/08 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种应用于干法去胶工艺的匹配验证方法。所述应用于干法去胶工艺的匹配验证方法，是通过对干法去胶工艺之晶圆表面温度变化曲线进行模拟，获得不同条件下，所述晶圆在各工艺过程中所累计的热通量差异性，进而将热通量差异性作为干法去胶工艺是否匹配的评判标准。本发明通过对干法去胶工艺之晶圆表面温度变化曲线进行模拟，获得不同条件下，所述晶圆在各工艺过程中所累计的热通量差异性，进而将热通量差异性作为干法去胶工艺是否匹配的评判标准，从而对干法去胶工艺的稳定性进行更精确的监控，对生产机台间的工艺匹配进行有效的评价。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应用于 干法去胶 工艺 匹配 验证 方法 | ||
【主权项】：
1.一种应用于干法去胶工艺的匹配验证方法，其特征在于，所述应用于干法去胶工艺的匹配验证方法，是通过对干法去胶工艺之晶圆表面温度变化曲线进行模拟，获得不同条件下，所述晶圆在各工艺过程中所累计的热通量差异性，进而将热通量差异性作为干法去胶工艺是否匹配的评判标准。
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