[发明专利]蒸镀设备在审
| 申请号： | 201810800950.0 | 申请日： | 2018-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN109023253A | 公开（公告）日： | 2018-12-18 |
| 发明（设计）人： | 张瑞军;伍丰伟;王松 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蒸镀设备，包括：真空腔体；若干防着板，设置于所述真空腔体内，所述若干防着板拼接以形成具有开口的容纳空间；黏附腔体，设置于所述容纳空间内，所述黏附腔体上具有与所述开口相对的蒸发口；蒸发源，设置于所述黏附腔体内，所述蒸发源与所述蒸发口相对。本发明公开的一种蒸镀设备，通过在真空腔体中设置黏附腔体，将蒸发源设置于黏附腔体内，并在黏附腔体正对蒸发源位置上开设蒸发口，可以减小蒸发源的蒸发范围，减少有机功能材料在防着板上成膜，提高了材料利用率，同时有利于材料的回收。 | ||
| 搜索关键词： | 黏附 蒸发源 腔体 蒸镀设备 防着板 蒸发口 容纳空间 真空腔体 体内 有机功能材料 材料利用率 蒸发源位置 开口相对 真空腔 减小 正对 拼接 蒸发 开口 回收 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀设备，其特征在于，包括：真空腔体(10)；若干防着板(20)，设置于所述真空腔体(10)内，所述若干防着板(20)拼接以形成具有开口(20b)的容纳空间(20a)；黏附腔体(30)，设置于所述容纳空间(20a)内，所述黏附腔体(30)上具有与所述开口(20b)相对的蒸发口(30a)；蒸发源(40)，设置于所述黏附腔体(30)内，所述蒸发源(40)与所述蒸发口(30a)相对。
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