[发明专利]自动对位曝光机及其工作方法在审
| 申请号： | 201810803476.7 | 申请日： | 2018-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN110737176A | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 程新安 | 申请（专利权）人： | 深圳市三字自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王玉双;汪发春 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市光*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种自动对位曝光机及其工作方法，其包括上曝光灯、下曝光灯、上对位平台、下对位平台、定位平台及CCD摄像模块，所述CCD摄像模块在上曝光灯及下曝光灯第一次曝光之前，对上菲林片及下菲林片上的预定参考点进行取像，促使上对位平台与下对位平台进行位置调整，实现上菲林片与下菲林片上的预定参考点完全重合，所述上曝光灯及下曝光灯每次曝光完成后，能够在基板上成型图形及用于提供下一次上菲林片及下菲林片与基板进行对位的曝光参考点，节省了在基板二次加工参考点的工序，提高生产效率，提升产品的品质和良品率，节省了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光灯 对位平台 菲林片 下菲林 预定参考点 参考点 基板 曝光 基板上成型 定位平台 二次加工 生产效率 位置调整 自动对位 良品率 曝光机 重合 对位 取像 | ||
【主权项】：
1.一种自动对位曝光机，其包括上曝光灯、下曝光灯、用以放置一上菲林片的上对位平台、位于上对位平台下方用以放置一下菲林片的下对位平台、用于放置基板的定位平台及至少一CCD摄像模块，所述定位平台位于上对位平台与下对位平台之间，其特征在于：所述至少一CCD摄像模块在上曝光灯及下曝光灯第一次曝光之前，对上菲林片及下菲林片上的预定参考点进行取像，促使上对位平台与下对位平台进行位置调整，实现上菲林片与下菲林片上的预定参考点完全重合，所述上曝光灯及下曝光灯每次曝光完成后，能够在基板上成型图形及用于提供下一次上菲林片、下菲林片与基板进行对位的曝光参考点。/n
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