[发明专利]一种太阳能电池制备用石英器件的清洗方法

摘要

本发明属于太阳能电池技术领域。本发明公开了一种太阳能电池制备用石英器件的清洗方法，其包括，清洗槽酸洗、高温水洗槽水洗，常温水洗槽水洗和干燥等步骤，其中酸洗采用氢氟酸和臭氧水的混合药液进行酸洗，水洗时采用臭氧水进行水洗。本发明不仅适用于扩散工序石英器件也适用于镀膜工序石英器件清洗；本发明可以减少使用氢氟酸、盐酸和臭氧水使用量，大大降低整个清洗流程时间；本发明能够有效清洗干净石英器件，降低污染比例，能够提升效率。

主权项

1.一种太阳能电池制备用石英器件的清洗方法，其特征在于包括以下步骤：a）在清洗槽中加入氢氟酸、臭氧水混合药液并加热，将石英器件放入到清洗槽中密封浸泡酸洗；b）在高温水洗槽中加入臭氧水并加热，将经步骤a）浸泡酸洗的石英器件在高温水洗槽中浸泡清洗；c）在常温水洗槽中加入臭氧水，在常温下将经步骤b）浸泡清洗的石英器件在常温水洗槽中浸泡清洗；d）重复步骤c）直至常温水洗槽的pH值为中性，水洗完成；e）水洗完成后将石英器件取出，并干燥完成石英器件清洗过程。