[发明专利]激光加工装置

摘要

本发明提供一种用2束激光束进行加工并且针对2束激光束能够分别测量反射光的强度的激光加工装置。分支合流光学系统将沿入射路径入射的激光束根据偏振方向分支为第1加工路径及第2加工路径。分支合流光学系统将分别沿第1加工路径及第2加工路径入射于分支合流光学系统的第1反射光及第2反射光合流到与入射路径不同的测量路径。分支元件将合流到测量路径的第1反射光及第2反射光分别分支为不同的路径。第1光检测器测量被分支元件分支后的第1反射光的强度，第2光检测器测量被分支元件分支后的第2反射光的强度。

主权项

1.一种激光加工装置，其特征在于，具有：分支合流光学系统，其对激光束进行分支及合流，即，将沿朝向所述分支合流光学系统的入射路径入射于所述分支合流光学系统的激光束根据偏振方向分支为第1加工路径及第2加工路径，将分别沿所述第1加工路径及所述第2加工路径入射于所述分支合流光学系统的第1反射光及第2反射光合流到与所述入射路径不同的测量路径；分支元件，将合流到所述测量路径的所述第1反射光及所述第2反射光分别分支为不同的路径；第1光检测器，测量被所述分支元件分支后的所述第1反射光的强度；及第2光检测器，测量被所述分支元件分支后的所述第2反射光的强度。