[发明专利]用于调节管状磁控管的磁体系统的旋转角度的装置和方法有效
申请号: | 201810811088.3 | 申请日: | 2018-07-23 |
公开(公告)号: | CN109295430B | 公开(公告)日: | 2022-07-12 |
发明(设计)人: | A·休布纳;J·约翰森 | 申请(专利权)人: | 索莱尔有限责任公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/54 |
代理公司: | 深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙) 44240 | 代理人: | 金辉 |
地址: | 德国凯瑟*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种用于可旋转地支撑管状磁控管的磁体系统36的法兰单元11,这种管状磁控管和用于调节磁体系统36的角度的方法。法兰单元包括主刻度1和游标刻度2,它们形成为圆盘并且每个都具有旋转角度刻度13。主刻度1和游标2同心地布置并且彼此相邻,其中游标2可相对于主刻度1绕其公共轴40旋转,主刻度1和游标2的旋转角度刻度13具有发散的刻度分度。主刻度1和游标2具有连接装置,利用该连接装置,具有管状磁控管的静态分量的主刻度1和具有磁体系统36的游标2可机械连接。借助于锁定装置5,可以锁定游标2相对于主刻度1的设定旋转角度。 | ||
搜索关键词: | 用于 调节 管状 磁控管 磁体 系统 旋转 角度 装置 方法 | ||
【主权项】:
1.用于可旋转地安装管状磁控管的磁体系统(36)的法兰单元,包括以下部件:主刻度(1),形成为圆形、环形或圆形段状盘并包括第一旋转角度刻度(13),其形成在盘的侧表面或主刻度(1)的圆周或与其平行延伸的圆弧上,第一游标(2),其形成为圆形、环形或圆形段状盘并包括第二旋转角度刻度(13),其形成在盘的侧表面或游标(2)的圆周上或与其平行延伸的圆弧上,其中主刻度(1)和第一游标(2)同心地布置并且彼此相邻,其中第一游标(2)可相对于主刻度(1)绕其公共轴(40)旋转,其中旋转角度刻度(13)具有不同的刻度分度,主刻度(1)和游标(2)具有连接装置,利用该连接装置,具有管状磁控管的静态部件的主刻度(1)和具有磁体系统(36)的第一游标(2)可机械连接,并且至少一个锁定装置(5),用于锁定游标(2)相对于主刻度(1)的设定旋转角度。
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