[发明专利]平板式PECVD设备载板自动传输控制装置、PECVD设备及方法

摘要

本发明公开了一种平板式PECVD设备载板自动传输控制装置，包括载板位置检测组件，安装于各腔室内，用于检测载板的位置；以及控制单元，与载板位置检测组件相连，用于根据载板的位置信号控制载板在各腔室内的运行速度。本发明还公开了一种PECVD设备，包括控制装置、依次对接的上料台、第一上料腔、第一预热腔、第一工艺腔、第一冷却腔、第二上料腔、第二预热腔、第二工艺腔、第二冷却腔、下料腔和下料台；各腔室均对应有驱动电机，控制单元与各驱动电机相连。本发明还公开了一种控制方法，包括步骤：S01、通过载板位置检测组件检测载板的位置；S02、根据载板的位置控制载板在各腔室内的运行速度。本发明的控制装置、设备及方法均具有生产效率高等优点。

主权项

1.一种平板式PECVD设备载板自动传输控制装置，其特征在于，包括载板位置检测组件，安装于平板式PECVD设备的各腔室内，用于实时检测载板的位置；以及控制单元，与所述载板位置检测组件相连，用于根据载板的位置信号控制载板在各腔室内的运行速度。