[发明专利]具有大粗糙度通道内表面的微孔光学元件及其制备方法有效
| 申请号： | 201810812965.9 | 申请日： | 2018-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN108675646B | 公开（公告）日： | 2021-08-31 |
| 发明（设计）人： | 徐昭;李婧雯;金戈;孙建宁;张正君;毛汉琪;邱祥彪;王健;郭燕 | 申请（专利权）人： | 北方夜视技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00;C03C23/00 |
| 代理公司： | 南京行高知识产权代理有限公司 32404 | 代理人： | 王培松 |
| 地址： | 650217 云南*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种具有大粗糙度通道内表面的微孔光学元件及其制备方法，通过将抛光好的微通道板半成品顺序进行度酸碱交替腐蚀、高浓度酸腐蚀和真空高温烘烤，使得微孔光学元件的通道内表面形成粗糙度大于10nm的表面，可以实现将微孔光学元件用于准直器领域，获得良好的光线准直效果。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 粗糙 通道 表面 微孔 光学 元件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种具有大粗糙度通道内表面的微孔光学元件的制备方法，其特征在于：将抛光好的微孔光学元件半成品顺序进行如下工艺处理：步骤一、低浓度酸碱交替腐蚀将微孔光学元件半成品先后置于低浓度酸溶液中搅拌和低浓度碱溶液中搅拌，并且在低浓度酸溶液中的搅拌时间为120分钟～360分钟，在低浓度碱溶液中的搅拌时间为10分钟～30分钟，每次在低浓度酸溶液或在低浓度碱溶液中搅拌完后，均将微孔光学元件半成品置于纯水中搅拌10分钟～30分钟，至此完成1轮酸碱交替腐蚀；上述酸碱交替腐蚀的过程重复3～5轮；步骤二、高浓度酸腐蚀将步骤一中处理完的微孔光学元件半成品置于酸的质量百分比浓度为30％～65％的高浓度酸溶液中搅拌30分钟～100分钟，之后取出微孔光学元件半成品并用纯水清洗30分钟～60分钟，然后将微孔光学元件半成品至于乙醇溶液中脱水；步骤三、真空高温烘烤将步骤二中处理完的微孔光学元件半成品至于真空环境中进行烘烤40分钟～90分钟，烘烤温度为420℃～520℃。
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