[发明专利]稀土掺杂磁铅石型六角铁氧体及其制备方法在审
申请号: | 201810813629.6 | 申请日: | 2018-07-23 |
公开(公告)号: | CN109097745A | 公开(公告)日: | 2018-12-28 |
发明(设计)人: | 张艳鹏;汪洪;刘静 | 申请(专利权)人: | 中国建筑材料科学研究总院有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;C23C14/06;C23C14/58 |
代理公司: | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人: | 王伟锋;刘铁生 |
地址: | 100024*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明是关于一种稀土掺杂磁铅石型六角铁氧体及其制备方法,其制备方法包括:选择基底,并清洗;根据膜层设计,选择M源、R源和Fe源靶材,在所述的基底上交替镀制膜层,得到中间体;其中,M为Ba、Sr或Pb,R为稀土元素;将所述的中间体热处理,得到稀土掺杂磁铅石型六角铁氧体;其中,所述的膜层包括至少一个单元膜层,所述的单元膜层包括M层、R层和Fe层。本发明可以仅用三种靶材,既可制备任意化学计量比的稀土掺杂磁铅石型六角铁氧体,可以节省实验或生产成本。 | ||
搜索关键词: | 六角铁氧体 磁铅石型 稀土掺杂 制备 单元膜层 膜层 化学计量比 基底上交替 热处理 膜层设计 稀土元素 靶材 镀制 基底 源靶 生产成本 清洗 | ||
【主权项】:
1.一种稀土掺杂磁铅石型六角铁氧体的制备方法,其特征在于,其包括:选择基底,并清洗;根据膜层设计,选择M源、R源和Fe源靶材,在所述的基底上交替镀制膜层,得到中间体;其中,M为Ba、Sr或Pb,R为稀土元素;将所述的中间体热处理,得到稀土掺杂磁铅石型六角铁氧体;其中,所述的膜层包括至少一个单元膜层,所述的单元膜层包括M层、R层和Fe层。
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