[发明专利]电子捕获检测器、检测单元及清洗方法、分析方法及装置在审
申请号: | 201810818485.3 | 申请日: | 2018-07-24 |
公开(公告)号: | CN109298120A | 公开(公告)日: | 2019-02-01 |
发明(设计)人: | 内山新士 | 申请(专利权)人: | 株式会社岛津制作所 |
主分类号: | G01N30/70 | 分类号: | G01N30/70 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;张会华 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供电子捕获检测器、检测单元及清洗方法、分析方法及装置。减少起因于检测单元的噪声。电子捕获检测器的检测单元的清洗方法具备向电子捕获检测器的检测单元导入清洗气体的工序,该电子捕获检测器的检测单元具备线源、试样气体导入口以及集电极,该线源用于放射放射线,该试样气体导入口用于导入试样气体。 | ||
搜索关键词: | 电子捕获检测器 检测 试样气体 分析方法及装置 清洗 导入口 线源 清洗气体 放射线 集电极 噪声 放射 | ||
【主权项】:
1.一种电子捕获检测器的检测单元的清洗方法,其中,该电子捕获检测器的检测单元的清洗方法具备向电子捕获检测器的检测单元导入清洗气体的工序,该电子捕获检测器的检测单元具备线源、试样气体导入口以及集电极,该线源用于放射放射线,该试样气体导入口用于导入试样气体。
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