[发明专利]一种平面线圈的制作方法有效
| 申请号： | 201810819808.0 | 申请日： | 2018-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN109148143B | 公开（公告）日： | 2021-12-24 |
| 发明（设计）人： | 赵坤帅;李鹏飞;张志刚;余才佳 | 申请（专利权）人： | 中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所 |
| 主分类号： | H01F41/04 | 分类号： | H01F41/04;H01F41/12 |
| 代理公司： | 中国航空专利中心 11008 | 代理人： | 杜永保 |
| 地址： | 710076 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开一种平面线圈的制作方法，包含以下步骤：在基底(1)上进行第一绝缘层(2)涂覆，表面镀制金属层，金属层刻蚀出金属线圈(3)和金属焊盘(4)结构，再次进行第二绝缘层(2)涂覆并制作导通孔(5)，表面镀制金属层，金属层再次刻蚀出金属线圈(3)结构，重复上述第二绝缘层(2)涂覆和制作导通孔(5)与镀制金属层和刻蚀金属线圈(3)结构的步骤，直至制作出需要的线圈匝数为止，实现平面线圈制作。本发明平面线圈的制作方法，直接在基底材料上集成线圈制作，可实现材料高性能热应力匹配，提升器件性能，此外，本发明工艺简单，可批量生产制作，具有较强的工艺一致性，无需进行复杂的装配工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平面 线圈 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种平面线圈的制作方法，其特征在于包含以下步骤：a.在基底(1)上沉积第一绝缘层(2)；b.在绝缘层(2)表面镀制金属层，金属层刻蚀出金属线圈(3)结构和金属焊盘(4)；c.在金属线圈(3)和金属焊盘(4)表面进行第二绝缘层(2)涂覆，并制作导通孔(5)；d.在步骤c形成的绝缘层(2)和导通孔(5)表面镀制金属层，金属层刻蚀出金属线圈(3)结构；e.依次重复步骤c和d，直至制作出需要的金属线圈匝数。
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