[发明专利]感光元件及其制造方法

摘要

一种感光元件及其制造方法，其中感光元件的制造方法包括：连续沉积第二导电层、感光材料层以及第一顶电极材料层于基板上；形成第一图案化光致抗蚀剂层于第一顶电极材料层上；以第一图案化光致抗蚀剂层为掩模，图案化第一顶电极材料层，以形成第一顶电极；移除第一图案化光致抗蚀剂层；以第一顶电极为掩模，图案化感光材料层，以形成感光层；形成绝缘层于第一顶电极上，且绝缘层具有开口；以及形成第二顶电极于绝缘层上，第二顶电极透过开口而电性连接第一顶电极。

主权项

1.一种感光元件的制造方法，其特征在于，包括：连续沉积一第二导电层、一感光材料层以及一第一顶电极材料层于一基板上；形成一第一图案化光致抗蚀剂层于该第一顶电极材料层上；以该第一图案化光致抗蚀剂层为掩模，图案化该第一顶电极材料层，以形成一第一顶电极；移除该第一图案化光致抗蚀剂层；以该第一顶电极为掩模，图案化该感光材料层，以形成一感光层；形成一绝缘层于该第一顶电极上，且该绝缘层具有一开口；以及形成一第二顶电极于该绝缘层上，该第二顶电极透过该开口而电性连接该第一顶电极。