[发明专利]一种砷化镓多晶合成装置在审
| 申请号： | 201810825693.6 | 申请日： | 2018-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN108570708A | 公开（公告）日： | 2018-09-25 |
| 发明（设计）人： | 肖亚东;刘国军;谈笑天 | 申请（专利权）人： | 汉能新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/42 |
| 代理公司： | 北京华夏泰和知识产权代理有限公司 11662 | 代理人： | 孟德栋 |
| 地址： | 101407 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种砷化镓多晶合成装置，包括加热装置、反应容器和承装容器，所述加热装置具有加热腔，所述反应容器安装在加热腔内，所述反应容器具有相连通的上腔和下腔，所述承装容器安装在所述上腔内，所述承装容器设有向上的开口，且所述开口与所述上腔相连通。本发明从原理上采用垂直布里奇曼法进行多晶合成，合成的多晶料要多于现有技术，提高生产量；而且由于多晶料在承装容器内成型，因此在单晶装料时，可与承装容器完全匹配，提高每炉次的投料量并降低单晶生产成本竖直。 | ||
| 搜索关键词： | 承装容器 上腔 多晶合成装置 加热装置 多晶料 加热腔 砷化镓 开口 合成 垂直布里奇曼法 装料 单晶生产 投料量 单晶 多晶 竖直 下腔 匹配 成型 | ||
【主权项】：
1.一种砷化镓多晶合成装置，其特征在于，包括：具有加热腔的加热装置；竖直安装在所述加热腔内的反应容器，所述反应容器具有相连通的上腔和下腔；安装在所述上腔内的承装容器，所述承装容器设有向上的开口，且所述开口与所述上腔相连通。
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