[发明专利]一种十字形压电振子驱动微流体阀

摘要

本发明涉及一种十字形压电振子驱动微流体阀，包括：阀座（1）、柔性支架（2）、阀盖（3）、压电振子（4）、弹性悬架（5）和柔性阀塞（6），其中：所述四个柔性支架布置于阀座的上表面；所述压电振子为十字形，粘接在四个柔性支架的上端面；所述柔性支架内侧均布置有凹槽；所述弹性悬架为十字形，布置于柔性支架上的凹槽内；所述弹性悬架的中心部分布置有柔性阀塞安装孔，将柔性阀塞固定于柔性阀塞安装孔内；当压电振子通电时，在水平方向产生伸缩运动，带动柔性支架上半部分向内侧弯曲变形，经弹性悬架传递到柔性阀塞，引起其沿竖直方向上下运动，达到开闭阀的目的，同时，将压电振子的水平伸缩位移进行了放大，提升了阀的流量调节范围。

主权项

1.一种十字形压电振子驱动微流体阀，包括：阀座（1）、柔性支架（2）、阀盖（3）、压电振子（4）、弹性悬架（5）和柔性阀塞（6），其中：所述阀座（1）上布置有流体入口（11）和流体出口（12），所述流体入口（11）位于所述阀座（1）的中心位置；所述阀盖（3）与所述阀座（1）直径相同且与所述阀座（1）连接形成密封腔体；所述柔性支架（2）为长方体，高度方向的尺寸大于长度方向的尺寸大于宽度方向的尺寸，且在以长、高组成的两侧面对称布置有第一圆弧凹槽（21）和第二圆弧凹槽（22）；所述柔性支架（2）布置有矩形凹槽（23），且所述矩形凹槽（23）位于第二圆弧凹槽（22）的圆弧面的上半部分位置，且所述凹槽底面平行于所述柔性支架（2）的以长、高组成的侧面；所述四个柔性支架（2）布置于所述阀座（1）的上表面，以所述阀座（1）中心轴线为阀中心线，第二圆弧凹槽（22）朝向阀中心线，第一圆弧凹槽（21）远离阀中心线，且所述四个柔性支架（2）沿圆周方向相间90°均布；所述压电振子（4）为十字形，粘接在所述四个柔性支架（2）的上端面；所述弹性悬架（5）为十字形，四个自由端布置于所述四个柔性支架（2）上的矩形凹槽（23）内；所述弹性悬架（5）的中心部分布置有柔性阀塞安装孔（51），将所述柔性阀塞（6）固定于所述柔性阀塞安装孔（51）内。/n