[发明专利]一种二维矢量扫描微镜有效
| 申请号： | 201810831509.9 | 申请日： | 2018-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN110764253B | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 沈文江;余晖俊;崔亚春;李帆雅 | 申请（专利权）人： | 中科融合感知智能研究院（苏州工业园区）有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/10 | 分类号： | G02B26/10 |
| 代理公司： | 苏州思睿晶华知识产权代理事务所(普通合伙) 32403 | 代理人： | 吴碧骏 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州工业园区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种二维矢量扫描微镜，包括外围框架、设于外围框架内的内框架、连接外围框架和内框架的第一扭转梁、设于内框架内的微反射镜及连接内框架和微反射镜的第二扭转梁，其中，内框架可绕第一扭转梁旋转，微反射镜可绕第二扭转梁旋转。本发明的二维矢量扫描微镜采用双轴解耦驱动设计，即以第一扭转梁为对称轴，在内框架背面电镀线圈，当线圈中通过电流时，在磁场的作用下，为内框架的偏转提供驱动力；同时，以第二扭转梁为对称轴，在微反射镜背面电镀线圈，为第二扭转梁的偏转提供驱动力，从而实现二维方向的准静态驱动，实现二维空间的矢量扫描。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 二维 矢量 扫描 | ||
【主权项】：
1.一种二维矢量扫描微镜，其特征在于，包括外围框架、设于所述外围框架内的内框架、连接所述外围框架和所述内框架的第一扭转梁、设于所述内框架内的微反射镜及连接所述内框架和所述微反射镜的第二扭转梁，其中，所述内框架可绕所述第一扭转梁旋转，所述微反射镜可绕所述第二扭转梁旋转。/n
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