[发明专利]生产单晶硅片用制绒切割装置

摘要

本发明公开了生产单晶硅片用制绒切割装置，它包括机架(1)，机架(1)上设置有电动滑轨(2)、置物框(3)和移动平台(4)，移动平台(4)上连接有第一液压缸(5)、减震台(6)、高速电机(7)和转动轴(8)，转动轴(8)上安装有清洗液进管(9)、制绒液进管(10)和金刚石锯片(11)，金刚石锯片(11)上设置有金刚线(12)、清洗液通道(14)和制绒液通道(15)；电动滑轨(2)的上连接有自动转向收集装置(29)；移动平台(4)上设置有第一感应器(16)和第二感应器(17)；电动滑轨(2)上设置有红外检测装置(42)。本发明不仅能够提高工作效率和切割精度，还具有制造成本较低、使用方便、安全性高和收集方便的优点。

主权项

1.生产单晶硅片用制绒切割装置，其特征在于：包括机架(1)，机架(1)上设置有两条相互对称设置的电动滑轨(2)，两条电动滑轨(2)之间在设置有多个均匀分布的置物框(3)；电动滑轨(2)的一侧设置有移动平台(4)，移动平台(4)上连接有第一液压缸(5)；移动平台(4)的顶面上安装有减震台(6)，减震台(6)上安装有高速电机(7)；高速电机(7)上安装有转动轴(8)，转动轴(8)上安装有清洗液进管(9)，清洗液进管(9)的一侧设置有制绒液进管(10)；转动轴(8)上安装有多个均匀分布的金刚石锯片(11)，金刚石锯片(11)的边缘处设置有金刚线(12)；金刚石锯片(11)的两侧面上均设有第一凹槽(13)，每个第一凹槽(13)内均设置有多个清洗液通道(14)和制绒液通道(15)；每个清洗液通道(14)均与清洗液进管(9)连接，每个制绒液通道(15)均与制绒液进管(10)连接；所述电动滑轨(2)的一端连接有自动转向收集装置(29)；所述移动平台(4)的移动路径上设置有第一感应器(16)和第二感应器(17)；所述电动滑轨(2)上对应移动平台(4)中部的位置处设置有红外检测装置(42)。