[发明专利]掩模板、蒸镀掩模板组件及其制造方法、蒸镀设备有效
| 申请号： | 201810834822.8 | 申请日： | 2018-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN108893710B | 公开（公告）日： | 2020-07-21 |
| 发明（设计）人： | 王倩楠;袁鹏程 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;刘伟 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种掩模板、蒸镀掩模板组件及其制造方法、蒸镀设备，所述掩模板，用于对显示基板进行蒸镀；所述掩模板包括一掩模板本体，所述掩模板本体的中部区域设有多个开口部，所述开口部对应显示基板的显示区域，在所述掩模板本体的周边区域设有膜厚检测开口，所述膜厚检测开口至少包括用于检测显示基板上蒸镀形成的第一膜层的厚度的第一膜厚检测开口、及用于检测显示基板上蒸镀形成的第二膜层的厚度的第二膜厚检测开口。本发明提供的掩模板、蒸镀掩模板组件及其制造方法、蒸镀设备，能够提高掩模板的通用性，节省开模成本。 | ||
| 搜索关键词： | 模板 蒸镀掩 组件 及其 制造 方法 设备 | ||
【主权项】：
1.一种掩模板，用于对显示基板进行蒸镀；其特征在于，所述掩模板包括一掩模板本体，所述掩模板本体的中部区域设有多个开口部，所述开口部对应显示基板的显示区域，在所述掩模板本体的周边区域设有膜厚检测开口，所述膜厚检测开口至少包括用于检测显示基板上蒸镀形成的第一膜层的厚度的第一膜厚检测开口、及用于检测显示基板上蒸镀形成的第二膜层的厚度的第二膜厚检测开口。
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