[发明专利]均匀加热的扩散炉炉体在审
| 申请号： | 201810835388.5 | 申请日： | 2018-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN108870975A | 公开（公告）日： | 2018-11-23 |
| 发明（设计）人： | 姜新诚;施广博;王兆敏 | 申请（专利权）人： | 青岛晨立电子有限公司 |
| 主分类号： | F27B17/00 | 分类号： | F27B17/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266200 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种均匀加热的扩散炉炉体，涉及芯片加工领域，现有12寸扩散炉炉体内各处温度均匀性较低的问题，其技术方案要点是包括炉体外壁、保温层、设置在保温层上的电阻带以及设置在保温层上的若干固定板；在保温层上靠近炉体前端三分之一的部分，相邻两圈电阻带之间的距离为3～25毫米，炉体中间三分之一端的相邻两圈电阻带之间的距离为4～30毫米，炉体后端三分之一的部分，相邻两圈电阻带之间的距离为3～25毫米；炉体外壁与保温层之间留有空腔，炉体外壁上固定连接有进气管，保温层内壁上开设有进气孔，通过对炉体内各处电阻带的距离进行控制，并且利用空气将靠近保温层内壁的高温传递到炉体中间位置，提高了炉体内各处温度的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 保温层 电阻带 炉体 炉体外壁 扩散炉 保温层内壁 均匀加热 炉体中间 体内 技术方案要点 温度均匀性 芯片加工 固定板 进气管 进气孔 均匀性 传递 | ||
【主权项】：
1.一种均匀加热的扩散炉炉体，其特征在于：包括呈圆筒状设置的炉体外壁(1)、设置在炉体外壁(1)内侧的呈圆筒状设置的保温层(2)、设置在保温层(2)上的螺旋设置的电阻带(3)以及设置在保温层(2)上用于将电阻带(3)固定在保温层(2)上的若干固定板(4)；在保温层(2)上靠近炉体前端三分之一的部分，相邻两圈电阻带(3)之间的距离为3～25毫米，炉体中间三分之一端的相邻两圈电阻带(3)之间的距离为4～30毫米，炉体后端三分之一的部分，相邻两圈电阻带(3)之间的距离为3～25毫米；炉体外壁(1)顶端和底端都固定连接有外径与炉体外壁(1)外径相等并且内径与保温层(2)内径相等的连接环(11)，炉体外壁(1)内侧与保温层(2)外侧之间留有空腔(5)，炉体外壁(1)顶部围绕炉体外壁(1)的外周均匀的设置有四根固定连接在炉体外壁(1)上并且与空腔(5)相连通的进气管(12)，保温层(2)内壁上开设有若干与空腔(5)相互连通的进气孔(21)。
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