[发明专利]用于太赫兹波探测的器件用衬底前驱体及其制备方法

摘要

本发明属于探测器技术领域，具体涉及一种用于太赫兹波探测的器件用衬底前驱体及其制备方法。以铝镓氮/镓氮高电子迁移率场效应晶体管（HEMT）为基本结构，通过衬底设计、利用外延法制备铝镓氮/镓氮层；然后制备有源区台面、栅介质、欧姆接触窗口、电极，得到的场效应晶体管中的二维电子气具有较高的电子浓度和迁移率，得到室温条件下对THz波实现高速、高灵敏度、高信噪比探测的波谱探测装置，最终实现对太赫兹波的探测。

主权项

1.一种用于太赫兹波探测的器件用衬底前驱体的制备方法，包括以下步骤：（1）在氮气保护下，混合六氯铱酸铵、水合硝酸镍、钼酸铵、乙醇和丙酸；然后回流搅拌5分钟，然后加入氨水；反应10分钟后自然冷却至室温，加入乙酸乙酯聚沉离心；将离心沉淀物水洗后分散于乙醇中得分散体系；然后加入硝酸锶、硝酸钴、水，搅拌10分钟加入三茂钐，搅拌1小时，得到支撑层前驱体；（2）在分散体系中加入聚乙烯醇、双氧水、四苯基卟啉铁，50℃搅拌1小时，然后加入萘甲酰乙酸乙酯、邻苯二甲酸二丁酯，回流搅拌10分钟，然后浓缩得到固含量80%的浓缩物；将浓缩物进行超重力处理；然后冷冻干燥，得到纳米粉；所述超重力处理的转速为35000～40000rpm；浓缩物的流量为80～90mL/min；（3）将氧化石墨烯、环氧树脂加入丙酮，回流搅拌20分钟后加入N‑乙烯基咔唑与二苯基硅二醇，继续搅拌10分钟，然后加入偶氮二异丁腈，搅拌30分钟，得到隔离层前驱体；（4）将纳米粉加入隔离层前驱体中，搅拌5分钟后加入碳纳米管，搅拌10分钟得到加强层前驱体；（5）所述用于太赫兹波探测的器件用衬底前驱体包括隔离层前驱体、加强层前驱体、支撑层前驱体。