[发明专利]滤除图形匹配度误报错的方法有效

专利信息
申请号: 201810840252.3 申请日: 2018-07-27
公开(公告)号: CN109190159B 公开(公告)日: 2023-04-18
发明(设计)人: 顾婷婷;陈翰;张辰明 申请(专利权)人: 上海华力微电子有限公司
主分类号: G06F30/39 分类号: G06F30/39
代理公司: 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 代理人: 栾美洁
地址: 201203 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种滤除图形匹配度误报错的方法,包括:步骤1,进行图形匹配度检查,输出匹配区域;步骤2,在匹配区域中设置检查区域;步骤3,检查区域去除矩形的匹配区域形成temp1图形;步骤4,检查区域去除所有匹配区域形成temp2图形;步骤5,检查区域去除所有匹配区域的延伸图形形成temp3图形;步骤6,temp1图形去除temp2图形形成temp4图形;步骤7,temp2图形与temp4图形有共同边的图形形成temp5图形;步骤8,temp5图形去除temp3图形形成第一类图形;步骤9,temp2图形中选取宽度大于设定值的第二类图形;步骤10,步骤8和步骤9的图形合集为最终需检查的图形。本发明通过异或处理和图形挑选可以有效地滤除图形匹配度检查中的误报错,大幅提升效率,并且不受SRAM图形特征影响。
搜索关键词: 图形 匹配 度误报错 方法
【主权项】:
1.一种滤除图形匹配度误报错的方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤1,利用PM技术进行SRAM图形匹配度检查,输出匹配区域;步骤2,在匹配区域中设置检查区域;步骤3,检查区域去除矩形结构的匹配区域形成中间图形temp1;步骤4,检查区域去除所有匹配区域形成中间图形temp2;步骤5,检查区域去除所有匹配区域的延伸图形形成中间图形temp3;步骤6,中间图形temp1与中间图形temp2进行异或运算形成中间图形temp4;步骤7,中间图形temp2与中间图形temp4有共同边的图形形成中间图形temp5;步骤8,中间图形temp5与中间图形temp3进行异或运算形成需要人工审核的第一类图形;步骤9,在中间图形temp2中选取需要人工审核的第二类图形;步骤10,步骤8形成的第一类图形和步骤9形成的第二类图形的合集为最终需进一步检查的图形。
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