[发明专利]一种基板配向检测方法及其检测装置有效
申请号: | 201810841880.3 | 申请日: | 2018-07-27 |
公开(公告)号: | CN109031713B | 公开(公告)日: | 2020-12-25 |
发明(设计)人: | 顾葆华;何方;刘志诚;胡硕;尤绍峰 | 申请(专利权)人: | 南京中电熊猫平板显示科技有限公司 |
主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13;G02F1/1337;G01M11/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 210033 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供一种基板配向检测方法及其检测装置,包括如下步骤:S1:在玻璃基板的切角处设置第一标记;S2:对玻璃基板上需要涂布配向液的区域涂布配向液;在玻璃基板具有第一标记的区域涂布紫外光感光材料;S3:对玻璃基板上配向液和紫外光感应材料进行加热烘烤固化;S4:用紫外光透过具有第二标记的掩膜板照射到紫外光感光材料,在玻璃基板上形成与第二标记形状相同的第三标记;S5:掩膜板上方设有图像监控装置,用于监控对比第一标记和第三标记是否匹配。本发明通过配向前在基板上形成第一标记,配向后在基板上形成第三标记,通过比对第一标记和第三标记是否匹配,从而可以判断基板配向是否异常,能够及时发现问题并拦截异常品。 | ||
搜索关键词: | 一种 基板配 检测 方法 及其 装置 | ||
【主权项】:
1.一种基板配向的检测方法,其特征在于:包括如下步骤:S1:在玻璃基板的切角处设置第一标记;S2:对玻璃基板上需要涂布配向液的区域涂布配向液;在玻璃基板具有第一标记的区域涂布紫外光感应材料;S3:对玻璃基板上配向液和紫外光感应材料进行加热烘烤固化;S4:玻璃基板第一标记对应位置的上方设有具有第二标记的掩模板,在玻璃基板经过紫外光进行光配向时,紫外光透过掩膜板第二标记照射到紫外光感应材料,在玻璃基板上形成与第二标记形状相同的第三标记,第三标记代表玻璃基板实际配向方向;S5:掩膜板上方设有图像监控装置,图像监控装置监控对比第一标记和第三标记;若第一标记与第三标记完全重合,则玻璃基板配向正确;若第一标记与第三标记不匹配,则玻璃基板配向方向错误;若没有形成第三标记,则玻璃基板未进行配向。
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