[发明专利]药液供给装置、基板处理装置、药液供给方法、以及基板处理方法

摘要

本发明的目的在于供给有效地除去了颗粒的高温的药液。药液供给装置是将药液供给至预定的供给对象的药液供给装置，其具备：供给流路，其一端与常温的药液的供给源连接，并且另一端与供给对象连接，从供给源向供给对象引导药液；第一过滤器，其除去从供给源导入供给流路的常温的药液中的颗粒；加热部，其加热通过了第一过滤器的药液；以及第二过滤器，其除去被加热部加热并在供给流路朝向供给对象流动的高温的药液中的颗粒，第一过滤器为亲水性过滤器，第二过滤器为疏水性过滤器。

主权项

1.一种药液供给装置，其将药液供给至预定的供给对象，上述药液供给装置的特征在于，具备：供给流路，其一端与常温的上述药液的供给源连接，并且另一端与上述供给对象连接，且从上述供给源向上述供给对象引导上述药液；第一过滤器，其设于上述供给流路，且除去从上述供给源导入上述供给流路的常温的上述药液中的颗粒；加热部，其在上述供给流路中的比上述第一过滤器靠上述供给对象侧的部分加热上述药液；以及第二过滤器，其设于上述供给流路中的比上述第一过滤器靠上述供给对象侧的部分，且除去被上述加热部加热并在上述供给流路朝向上述供给对象流动的高温的上述药液中的颗粒，上述第一过滤器为亲水性过滤器，上述第二过滤器为疏水性过滤器。