[发明专利]薄膜体声波谐振器及其制作方法、滤波器有效
| 申请号： | 201810842153.9 | 申请日： | 2018-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN109150127B | 公开（公告）日： | 2022-10-28 |
| 发明（设计）人： | 李平;胡念楚;贾斌 | 申请（专利权）人： | 开元通信技术（厦门）有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/02;H03H9/17;H03H9/54 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 鄢功军 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市海*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种薄膜体声波谐振器及其制作方法、滤波器；其中，该薄膜体声波谐振器包括：第一衬底和形成于该第一衬底上的压电堆叠结构，该压电堆叠结构具有一第一接触孔和一第二接触孔；以及第二衬底，其具有一第一凸部和一第二凸部；其中，所述第二衬底的第一凸部和第二凸部分别与所述压电堆叠结构的第一接触孔和第二接触孔键合，且在所述第二衬底和压电堆叠结构之间形成第一空气腔。本公开薄膜体声波谐振器及其制作方法、滤波器，避免了复杂的CMP工艺，避免了牺牲材料释放技术，降低了器件制作难度和生产成本，提升了体声波谐振器的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 声波 谐振器 及其 制作方法 滤波器 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜体声波谐振器，包括：第一衬底和形成于该第一衬底上的压电堆叠结构，该压电堆叠结构具有一第一接触孔和一第二接触孔；以及第二衬底，其具有一第一凸部和一第二凸部；其中，所述第二衬底的第一凸部和第二凸部分别与所述压电堆叠结构的第一接触孔和第二接触孔键合，且在所述第二衬底和压电堆叠结构之间形成第一空气腔。
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