[发明专利]薄膜的检测装置与检测方法有效
| 申请号： | 201810843292.3 | 申请日： | 2018-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN109115103B | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 戚务昌;林永辉;姜利;宋荣鑫;张凯;曲涛 | 申请（专利权）人： | 威海华菱光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/06 | 分类号： | G01B7/06;G01B7/16;G01B7/28 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 韩建伟;霍文娟 |
| 地址： | 264209 山东省威海*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种薄膜的检测装置与检测方法。该检测装置包括：公共单元，包括公共电极，至少两个公共电极间隔设置；检测单元，包括多个沿第二方向依次排列的检出电极，非正对公共电极在第一平面上的投影与各检出电极在第一平面上的投影均没有重叠部分，第一平面垂直于第一方向，正对公共电极在第一平面上的投影与至少部分检出电极在第一平面上的投影具有重叠部分，多个公共电极中有多个非正对公共电极，至少两个非正对公共电极按照第三方向排列，第三方向与第二方向的夹角为θ，0θ≤90°，或多个公共电极中至少有一个非正对公共电极和至少一个正对公共电极。该检测装置可更准确地检出处待测膜表面发生的形变或者表面的异物。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜的检测装置，其特征在于，所述检测装置包括：公共单元(2)，包括多个公共电极(21)，其中至少两个所述公共电极(21)间隔设置；以及检测单元(1)，与所述公共单元(2)在第一方向上相对且间隔设置，所述检测单元(1)包括多个沿第二方向依次排列的检出电极(11)，所述公共单元(2)和所述检测单元(1)之间的间隔为待测膜的传输通道，所述第二方向与所述第一方向垂直且与所述待测膜的移动方向垂直，非正对公共电极为在第一平面上的投影与各所述检出电极(11)在所述第一平面上的投影均没有重叠部分的所述公共电极，所述第一平面垂直于所述第一方向，正对公共电极为在所述第一平面上的投影与至少部分所述检出电极(11)在所述第一平面上的投影具有重叠部分的所述公共电极，多个所述公共电极(21)中有多个所述非正对公共电极，且至少两个所述非正对公共电极按照第三方向排列，所述第三方向与所述第二方向的夹角为θ，0<θ≤90°，或者多个所述公共电极(21)中至少有一个所述非正对公共电极和至少一个正对公共电极(211)。
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