[发明专利]半导体到金属的过渡有效
申请号: | 201810843300.4 | 申请日: | 2015-11-13 |
公开(公告)号: | CN108615676B | 公开(公告)日: | 2022-09-27 |
发明(设计)人: | A.赫特尔;F.希勒;F.J.桑托斯罗德里格斯;D.施勒格尔;A.R.施特格纳;C.魏斯 | 申请(专利权)人: | 英飞凌科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/265 | 分类号: | H01L21/265;H01L21/28;H01L21/285;H01L29/06;H01L29/10;H01L29/167;H01L29/32;H01L29/417;H01L29/45;H01L29/66;H01L29/739;H01L29/78;H01L29/861 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 刘书航;申屠伟进 |
地址: | 德国瑙伊比*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及半导体到金属的过渡。提出了一种半导体器件(1)。半导体器件(1)包括扩散阻挡层(11)、具有第一导电类型的第一电荷载流子的第一半导体区(12)和具有第二电荷载流子的第二半导体区(13)。第一半导体区(12)包含:与第二半导体区(13)接触的过渡区(123),过渡区(123)具有第一浓度的第一电荷载流子;与扩散阻挡层(11)接触的接触区(121),接触区(121)具有第二浓度的第一电荷载流子,其中,第二浓度高于第一浓度;在接触区(121)和过渡区(123)之间的损伤区(122),损伤区(122)被配置用于与接触区(121)和过渡区(123)的第一电荷载流子的寿命和/或迁移率相比,降低损伤区(122)的第一电荷载流子的寿命和/或迁移率。 | ||
搜索关键词: | 半导体 金属 过渡 | ||
【主权项】:
1.一种半导体器件,包括具有第一导电类型的第一电荷载流子的第一半导体区和具有第二电荷载流子的第二半导体区,其中,所述第一半导体区包括:与所述第二半导体区接触的过渡区,所述过渡区具有第一浓度的所述第一电荷载流子;具有第二浓度的所述第一电荷载流子的接触区,其中,所述第二浓度高于所述第一浓度;以及在所述接触区和所述过渡区之间的损伤区,所述损伤区被配置为与所述接触区和所述过渡区的第一电荷载流子的寿命和/或迁移率相比,降低所述损伤区的第一电荷载流子的寿命和/或迁移率。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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