[发明专利]物镜防污染装置在审
| 申请号： | 201810844511.X | 申请日： | 2018-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN110764368A | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 王锋;郁健;湛宾洲;章富平;张洪博;韦婧宇;张丽;王伟伟 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B27/00 |
| 代理公司： | 11332 北京品源专利代理有限公司 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种物镜防污染装置，安装在物镜的镜头上，物镜防污染装置包括壳体和具有多个第一通气孔的第一通气板，壳体上开设有通光孔，第一通气板设置在壳体内，位于通光孔的周围并与壳体的外壳围绕形成吹气腔，吹气腔与壳体上的进气口连通，吹气腔具有两个吹气口，两个吹气口相对设置在通光孔两侧，且两个吹气口距离进气口的距离相同，第一通气板设置在吹气口处。上述的物镜防污染装置能够在物镜下方形成均匀稳定分布的正压腔，正压腔内保护气体分布均匀，不会出现部分区域无保护气体的现象，从而避免镜片局部污染以保证物镜透过率，能够有效保证光刻机的曝光精度。 | ||
| 搜索关键词： | 物镜 吹气口 壳体 防污染装置 吹气腔 通光孔 通气板 进气口 正压腔 无保护气体 保护气体 相对设置 光刻机 通气孔 透过率 镜片 连通 体内 保证 镜头 曝光 污染 | ||
【主权项】：
1.一种物镜防污染装置(10)，安装在物镜(20)的镜头上，所述物镜防污染装置(10)包括壳体(12)，所述壳体(12)上开设有通光孔(14)，其特征在于，还包括具有多个第一通气孔的第一通气板(13)，所述第一通气板(13)设置在所述壳体(12)内，位于所述通光孔(14)的周围并与所述壳体(12)的外壳围绕形成吹气腔(121)，所述吹气腔(121)与所述壳体(12)上的进气口(122)连通，所述吹气腔(121)具有两个吹气口，两个所述吹气口相对设置在所述通光孔(14)两侧，所述第一通气板(13)设置在所述吹气口处。/n
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