[发明专利]物镜光窗式法兰及采用该法兰的真空腔有效
| 申请号： | 201810853516.9 | 申请日： | 2018-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN109031576B | 公开（公告）日： | 2021-09-24 |
| 发明（设计）人： | 李爱杰;谢宇辰;徐耿钊;刘争晖;钟海舰;宋文涛;陈科蓓;张春玉;徐科 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | G02B7/02 | 分类号： | G02B7/02 |
| 代理公司： | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人： | 高翠花;翟羽 |
| 地址： | 215125 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种物镜光窗式法兰及采用该法兰的真空腔，包括一法兰盘及一透镜，所述法兰盘中心具有一通孔，所述通孔形成一光路通道，所述透镜设置在所述光路通道内，形成光窗，所述透镜作为一光学系统的物镜前透镜使用。本发明的优点在于，将物镜与法兰结合为一个整体。将常规法兰上的光窗用物镜代替，光束经物镜传输后不需要再经过平面透镜光窗，从而减小了光窗的反射造成的光源能量损失，同时可以使物镜工作距离缩短，工作距离短的物镜的数值孔径大，分辨率高。 | ||
| 搜索关键词： | 物镜 光窗式 法兰 采用 空腔 | ||
【主权项】：
1.一种物镜光窗式法兰，其特征在于，包括一法兰盘及一透镜，所述法兰盘中心具有一通孔，所述通孔形成一光路通道，所述透镜设置在所述光路通道内，形成光窗，所述透镜作为一光学系统的物镜前透镜使用。
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