[发明专利]一种太阳能电池及其制备方法

摘要

本发明公开了一种太阳能电池，包括n型硅基体，所述n型硅基体表面设有轻掺杂层，所述轻掺杂层表面设有钝化介质层，所述钝化介质层表面设有多晶硅薄膜，所述多晶硅薄膜上设有金属接触电极。该电池对n型硅基体进行轻掺杂并有效控制轻掺杂的浓度，能够有效地减小金属接触区域对超薄钝化介质层的损伤，能更能够发挥好其电学性能。还公开了上述太阳能电池的制备方法，该方法通过在硅基体表面上进行轻掺杂后，进一步设置钝化介质层和多晶硅薄膜，并对多晶硅薄膜进行了高温退火以实现晶化处理，提升了多晶硅薄膜的性能。

主权项

1.一种太阳能电池，包括n型硅基体(1)，其特征是：在所述n型硅基体(1)表面设有轻掺杂层(2)，在所述轻掺杂层(2)表面设有钝化介质层(3)，在所述钝化介质层(3)表面设有多晶硅薄膜(4)，在所述多晶硅薄膜(4)上设有金属接触电极(5)。