[发明专利]一种MWT太阳能电池及其制备方法

摘要

本发明公开了一种MWT太阳能电池，包括n型硅基体，在所述n型硅基体中设有将正面电极引至背面的通孔，在所述n型硅基体背面设有介质膜，在所述介质膜上设有选择性掺杂多晶硅薄膜，所述选择性掺杂多晶硅薄膜包括非掺杂多晶硅薄膜和掺杂多晶硅薄膜，所述非掺杂多晶硅薄膜包围所述通孔，剩余区域则为掺杂多晶硅薄膜。其优化了背面钝化结构，采用了选择性掺杂多晶硅薄膜，掺杂多晶硅薄膜能提供优越的场钝化和表面钝化，载流子可以被选择性地隧穿过氧化层达到金属电极，而非掺杂多晶硅薄膜能有效解决漏电和短路问题。本发明的还公开了上述MWT太阳能电池的制备方法，该方法能与现有工艺兼容，成本低。

主权项

1.一种MWT太阳能电池，包括n型硅基体(1)，在所述n型硅基体(1)中设有将正面电极引至背面的通孔(2)，在所述n型硅基体(1)背面设有介质膜(3)，其特征是：在所述介质膜(3)上设有选择性掺杂多晶硅薄膜(4)，所述选择性掺杂多晶硅薄膜(4)包括非掺杂多晶硅薄膜(41)和掺杂多晶硅薄膜(42)，所述非掺杂多晶硅薄膜(41)包围所述通孔(2)，剩余区域则为掺杂多晶硅薄膜(42)。