[发明专利]微型散热系统有效
申请号: | 201810861144.4 | 申请日: | 2018-08-01 |
公开(公告)号: | CN110364500B | 公开(公告)日: | 2020-12-08 |
发明(设计)人: | 丁镛;林烜鹏;王建评;吴铅翔;陈俊豪 | 申请(专利权)人: | 中原大学 |
主分类号: | H01L23/467 | 分类号: | H01L23/467 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 王玉双;李岩 |
地址: | 中国台湾桃*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 一种微型散热系统包括一底座金属层、一流道层、一压电致动的金属片、二个压电陶瓷振动片及一压电边界压固层。流道层黏固于底座金属层上方。流道层包括一第一腔体、一第二腔体、一入口流道、一连通口流道和一出口流道。入口流道连通第一腔体。连通口流道连通第一腔体和第二腔体。出口流道连通第二腔体。压电致动的金属片黏固于流道层上方。压电边界压固层黏固于压电致动的金属片,压电边界压固层包括二个容纳区,二个容纳区分别位于第一腔体和第二腔体上方。二个压电陶瓷振动片分别位于二个容纳区,并黏固于压电致动的金属片之上。 | ||
搜索关键词: | 微型 散热 系统 | ||
【主权项】:
1.一种微型散热系统,其特征在于,包括:一底座金属层;一流道层,连接于该底座金属层上方,该流道层包括:一第一腔体;一第二腔体;一入口流道,连通该第一腔体;一连通口流道,连通该第一腔体和该第二腔体;以及一出口流道,连通该第二腔体;一压电致动的金属片,连接于该流道层上方;一压电边界压固层,连接于该压电致动的金属片上方,该压电边界压固层包括二个容纳区,该二个容纳区分别位于该第一腔体和该第二腔体上方;以及二个压电陶瓷振动片,分别位于该二个容纳区上方并置中,并黏固于该压电致动的金属片之上。
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