[发明专利]一种自动切换防着板的溅镀机在审
| 申请号： | 201810863269.0 | 申请日： | 2018-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN108690959A | 公开（公告）日： | 2018-10-23 |
| 发明（设计）人： | 孙建忠 | 申请（专利权）人： | 苏州康普雷森精密机械有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 苏州铭浩知识产权代理事务所(普通合伙) 32246 | 代理人： | 于浩江 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种自动切换防着板的溅镀机，包含机架，机架内设有溅镀源、输送台和工作台，输送台的两侧均设置有防着板自动换位组件；防着板自动换位组件包含防着板、支撑架、旋转驱动机构、移动驱动机构、托板和升降驱动部件；防着板的上下两侧均设置有弯折部，两侧的弯折部相互对称；旋转驱动机构带动防着板转动，移动驱动机构带动支撑架横移；升降驱动部件带动托板升降，使其与下侧的弯折部配合；由于飞溅出的靶材大多沉积在防着板的中下部，因此，长时间使用后，旋转驱动机构可控制支撑架旋转换位，使防着板上下都可以较为均匀的接受靶材，减少防着板拆换清理的频率，从而降低了成本，节省了人力。 | ||
| 搜索关键词： | 防着板 旋转驱动机构 弯折部 支撑架 升降驱动部件 移动驱动机构 自动换位 溅镀机 输送台 靶材 上下两侧 托板升降 工作台 溅镀源 可控制 拆换 飞溅 横移 托板 沉积 换位 转动 对称 配合 | ||
【主权项】：
1.一种自动切换防着板的溅镀机，包含机架，机架内设有溅镀源（1）、输送台（2）和工作台（3），工作台（3）设置在输送台（2）上，溅镀源（1）设置在工作台（3）的上方，输送台（2）的两侧均设置有防着板自动换位组件；其特征在于：所述防着板自动换位组件包含防着板（11）、支撑架（12）、旋转驱动机构（15）、移动驱动机构（16）、托板（13）和升降驱动部件（17）；所述防着板（11）沿竖向设置，防着板（11）的上下两侧均设置有弯折部（14），两侧的弯折部（14）相互对称；所述防着板（11）转动设置在支撑架（12）上，支撑架（12）滑动设置在移动驱动机构（16）上，旋转驱动机构（15）带动防着板（11）转动，移动驱动机构（16）带动支撑架（12）横移；所述托板（13）设置在防着板（11）的下侧，升降驱动部件（17）带动托板（13）升降，使其与下侧的弯折部（14）配合。
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