[发明专利]一种超导回旋加速器真空室清洗设备与清洗方法有效
| 申请号： | 201810866557.1 | 申请日： | 2018-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN109078941B | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 王永胜;陈根;沈国清;陈永华;赵燕平;杨庆喜 | 申请（专利权）人： | 合肥中科离子医学技术装备有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/08 | 分类号： | B08B9/08;B08B9/093;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人： | 胡剑辉 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开一种超导回旋加速器真空室清洗设备，包括超导回旋加速器真空室，超导回旋加速器真空室上接通有四组真空系统分子泵，真空系统分子泵上设置有真空系统插板阀，真空系统插板阀与机械泵及电源密封连接，超导回旋加速器真空室的底部连接有两个接口法兰，一个接口法兰通过大气支管与大气接通，另一个接口法兰连接有加热器支路与高纯氮气瓶支路，所述加热器支路包括通过尼龙管依次串联的第二精密油水分离器、加热器、第一精密油水分离器与空气压缩机。本发明通过大量干燥恒温空气对超导回旋加速器真空室内部不饱和空气及内壁吸附残余气体进行冲洗，然后再用高纯氮气将空气置换出超导回旋加速器真空室外，大大缩短加速器真空系统抽气时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超导 回旋加速器 真空 清洗 设备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种超导回旋加速器真空室清洗设备，其特征在于，包括超导回旋加速器真空室(3)，超导回旋加速器真空室(3)上接通有四组真空系统分子泵(1)，真空系统分子泵(1)上设置有真空系统插板阀(2)，真空系统插板阀(2)与机械泵及电源(4)密封连接，所述超导回旋加速器真空室(3)的底部连接有两个接口法兰，一个接口法兰通过大气支管(9)与大气接通，大气支管(9)上设置有阀门与温度传感器，另一个接口法兰连接有加热器支路或高纯氮气瓶支路，所述高纯氮气瓶支路包括高纯氮气瓶，所述加热器支路包括通过尼龙管依次串联的第二精密油水分离器(8)、加热器(5)、第一精密油水分离器(6)与空气压缩机(7)，接口法兰与加热器支路靠近第二精密油水分离器(8)的一端连接。
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