[发明专利]一种基于Nb2O5的透明导电氧化物薄膜及其制备方法在审
| 申请号： | 201810870166.7 | 申请日： | 2018-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN108914077A | 公开（公告）日： | 2018-11-30 |
| 发明（设计）人： | 李兴鳌;张杰;陈爱诗;毛巍威;张健 | 申请（专利权）人： | 南京邮电大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/18;C23C14/08 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 王素琴 |
| 地址： | 210023 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于Nb2O5的透明导电氧化物薄膜及其制备方法，该薄膜由衬底、底部金属氧化物薄膜层、中间金属层和顶部金属氧化物薄膜层组成，其中，衬底为玻璃，底部金属氧化物薄膜层为采用射频磁控溅射方法沉积的Nb2O5层，中间金属层为采用直流磁控溅射的方法沉积的Ag层，顶部金属氧化物薄膜层为采用射频磁控溅射方法沉积的ZnO层，底部金属氧化物薄膜层和顶部金属氧化物薄膜层的厚度均为35～55nm，中间金属层的厚度为8～20nm。该薄膜不仅价格低廉、无毒环保，而且是在室温下制备，无需加热，简化了制备工艺，具备取代传统的ITO被广泛应用在光电材料技术领域的可能。 | ||
| 搜索关键词： | 金属氧化物薄膜层 中间金属层 沉积 制备 透明导电氧化物薄膜 射频磁控溅射 衬底 薄膜 采用直流 磁控溅射 光电材料 无毒环保 制备工艺 传统的 加热 玻璃 应用 | ||
【主权项】：
1.一种基于Nb2O5的透明导电氧化物薄膜，其特征在于，该薄膜由衬底、底部金属氧化物薄膜层、中间金属层和顶部金属氧化物薄膜层组成，其中，衬底为玻璃，底部金属氧化物薄膜层为采用射频磁控溅射方法沉积的Nb2O5层，中间金属层为采用直流磁控溅射方法沉积的Ag层，顶部金属氧化物薄膜层为采用射频磁控溅射方法沉积的ZnO层。
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