[发明专利]去除高纯度惰性气体中水分的净化装置、系统及方法在审
申请号: | 201810870725.4 | 申请日: | 2018-08-02 |
公开(公告)号: | CN108680422A | 公开(公告)日: | 2018-10-19 |
发明(设计)人: | 姜允中 | 申请(专利权)人: | 济南兰光机电技术有限公司 |
主分类号: | G01N1/34 | 分类号: | G01N1/34 |
代理公司: | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人: | 张勇 |
地址: | 250031 山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明公开了去除高纯度惰性气体中水分的净化装置、系统及方法,包括:氧化锆陶瓷管,所述氧化锆陶瓷管的内外表面分别设有电极,其中一个电极为正电极,另一个电极为负电极;氧化锆陶瓷管在设定的温度下且所述正电极及负电极通电形成电势差,将通过氧化锆陶瓷管的高纯度惰性气体中的水分子去除。本发明去除高纯度惰性气体中水分的净化装置,可同时清除水分子和氧分子,净化过程中净化装置本身无损耗,净化能力稳定,可长期工作不需要做任何维护工作。 | ||
搜索关键词: | 氧化锆陶瓷管 惰性气体 净化装置 高纯度 去除 负电极 水分子 正电极 净化能力 内外表面 电势差 无损耗 氧分子 电极 通电 净化 维护 | ||
【主权项】:
1.去除高纯度惰性气体中水分的净化装置,其特征是,包括:氧化锆陶瓷管,所述氧化锆陶瓷管的内外表面分别设有电极,其中一个电极为正电极,另一个电极为负电极;所述氧化锆陶瓷管在设定的温度下且所述正电极及负电极通电形成电势差,将通过氧化锆陶瓷管的高纯度惰性气体中的水分子去除。
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